Статья: Неразрушающий контроль прозрачных материалов с помощью лазерной ИК-томографии (2019)

Читать онлайн

Предложен метод обнаружения, наблюдения и оценки физических неоднородностей в материалах, объединяющий метод регистрации неоднородностей в показателе преломления по рассеянному ими свету и метод обнаружения неоднородностей в материалах по их поглощению и/или дополнительному тепловому излучению при нагреве лазерным излучением с использованием тепловизионного прибора ИК-диапазона. Предложена реализующая этот метод установка. Анализируется методика лазернотепловизионной неразрушающей бесконтактной дефектоскопии прозрачных материалов для контроля малоразмерных дефектов ИК-оптики и особо чистых полупроводников. Она может быть использована для выявления участков с повышенной концентрацией малоразмерных дефектов структуры материала и примесей, в том числе и так называемых кластерных образований. Причём во многих случаях возможно выявление скоплений электрически нейтральных примесей, в принципе не выявляемых традиционно применяемыми электрофизическими методами.

Consideration is given to a method for detecting, observing and evaluating physical inhomogeneities in materials. It combines a method for detecting inhomogeneities in the refractive index by the light scattered by them and a method for detecting inhomogeneities in materials by their absorption and / or additional thermal radiation when heated by infrared radiation. A device that implements this combined method is proposed. A technique of laser-thermal nondestructive noncontact defectoscopy of transparent materials is analyzed for the control of small defects in IR optics and ultra-pure semiconductors. It can be used to identify areas with an increased concentration of small size defects in the structure of the material and impurities, including the so-called cluster formations. Moreover, in many cases it is possible to identify clusters of electrically neutral impurities, in principle, not detected by traditionally applied electrophysical methods.

Ключевые фразы: лазер, тепловизор, поглощающее включение, ИК-оптика, полупроводник, микронеоднородность, рассеяние
Автор (ы): Рогалин Владимир Ефимович, Филин Сергей Александрович, Каплунов Иван Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
53.087.3. Устройства для субъективных наблюдений
eLIBRARY ID
41716458
Для цитирования:
РОГАЛИН В. Е., ФИЛИН С. А., КАПЛУНОВ И. А. НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ ПРОЗРАЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРНОЙ ИК-ТОМОГРАФИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2019. №6
Текстовый фрагмент статьи