Статья: Определение толщины матриц ФЧЭ из антимонида индия по ИК-спектрам отражения (2019)

Читать онлайн

Рассмотрен метод определения толщин тонких матриц на основе ИК-спектров отражения. Исследована статистика распределения толщины матриц ФЧЭ из антимонида индия формата 640 512 элементов с шагом 15 мкм, утоньшенных методом химико-динамической полировки. Показана динамика улучшения технологии утоньшения МФЧЭ.

Consideration is given to results of investigation of the FPA thicknesses by the method on basis of the IR reflection spectra. The FPAs have been made from indium antimonide InSb. It is shown that a technology of thinning has been taken a turn for the better. The method of a spectral analysis has been discussed in detail.

Ключевые фразы: ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ, ик-спектр отражения, МФЧЭ, МФПУ, антимонид индия
Автор (ы): Пермикина Елена Вячеславовна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
eLIBRARY ID
41716452
Для цитирования:
ПЕРМИКИНА Е. В. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИНЫ МАТРИЦ ФЧЭ ИЗ АНТИМОНИДА ИНДИЯ ПО ИК-СПЕКТРАМ ОТРАЖЕНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2019. №6
Текстовый фрагмент статьи