Архив статей

Мегапиксельное матричное фотоприёмное устройство среднего ИК-диапазона (2018)
Выпуск: Том 6, №6 (2018)
Авторы: Базовкин Владимир Михайлович, Варавин Василий Семенович, Васильев Владимир Васильевич, Глухов Александр Викторович, Горшков Дмитрий Витальевич, Дворецкий Сергей Алексеевич, Ковчавцев Анатолий Петрович, Макаров Юрий Сергеевич, Марин Денис Викторович, Мжельский Иван Викторович, Половинкин Владимир Григорьевич, Ремесник Владимир Григорьевич, Сабинина Ирина Викторовна, Сидоров Юрий Георгиевич, Сидоров Георгий Юрьевич, Строганов Александр Сергеевич, Царенко Алексей Викторович

Рассмотрены параметры средневолнового инфракрасного фотоприемного устройства, изготовленного в виде гибридной микросхемы на основе фокальной матрицы планарных n+–pпереходов HgCdTe с числом 20482048 элементов и кремниевого мультиплексора. Температурная зависимость обратного тока элементов в диапазоне 125–300 К имела характерную зависимость Аррениуса с энергией активации близкой к ширине запрещенной зоны полупроводника и лимитировалась диффузионной компонентой тока. При более низкой температуре ток лимитировался генерацией носителей с участием глубокого уровня локализованного вблизи середины запрещенной зоны. Гистограмма обнаружительной способности элементов матрицы имела вид симметричной кривой с максимумом и средним значением  1,31012 см Гц1/2/Вт.

Сохранить в закладках
Матричные фотоприемные устройства формата 384288 элементов для ИК-диапазона 8–10 мкм (2018)
Выпуск: Том 6, №3 (2018)
Авторы: Зверев Алексей Вкиторович, Сусляков Александр Олегович, Сабинина Ирина Викторовна, Сидоров Георгий Юрьевич, Якушев Максим Витальевич, Кузьмин Валерий Давыдович, Варавин Василий Семенович, Ремесник Владимир Григорьевич, Макаров Юрий Сергеевич, Предеин Александр Владиленович, Горшков Дмитрий Витальевич, Дворецкий Сергей Алексеевич, Васильев Владимир Васильевич, Сидоров Юрий Георгиевич, Латышев Александр Васильевич, Кремис Игорь Иванович

Разработана конструкция и изготовлены матричные ФЧЭ форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм с длинноволновой границей чувствительности по уровню 0,5 около 9,5 мкм. Средняя величина R0А фотодиодов по всему массиву матрицы равна 100 Ом см2. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные высокоскоростные мультиплексоры форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 20 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное ФПУ форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм с параметрами: средняя величина NETD < 30 мК, количество работоспособных элементов > 97 %. Использование мезатравления для разделения отдельных фотодиодов снижает фотоэлектрическую связь и обеспечивает высокое пространственное разрешение матричного ФПУ, равное 11,25 штр/мм. Представлены примеры использования системы микросканирования для снижения дефектных пикселов в кадре изображения и/или увеличения формата кадров до 768576. Показано, что в результате использования микросканирования в тепловизионном канале на основе разработанного ФПУ при переходе к формату 768576 получено улучшение пространственного разрешения в 1,4 раза при одинаковой величине минимально разрешаемой разности температур (МРРТ), а МРРТ на частоте 0,44 мрад-1 уменьшается с 1,6 К до 0,9 К по сравнению с исходным форматом 384×288.

Сохранить в закладках