Доклад: Исследование процесса плазменного травления альфа-кремния для МЭМС-применений

Автор(ы)
Соловьев А. А.
Соавтор(ы)
Юркин Н. О., Платонов Д. Д.
Тип доклада
Устный

Видео запись

Видео доклада ещё не загружено.

Статистика доклада

Статистика просмотров за 2025 год.

Обсуждение доклада

Новых тем пока нет

Создайте тему для обсуждения, если у вас есть вопросы или предложения по докладу.

Другие доклады секции: 10
11:00 | Кофе-брейк
09:40 | PECVD-СИНТЕЗ ПЛЕНОК КРТ ДЛЯ ИК-ДЕТЕКТОРОВ
Телегин Сергей ВладимировичНижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
11:45 | Синтез высокочистых базовых материалов для опто и фотоэлектроники
Мочалов Леонид АлександровичНижегородский государственный университет имени Н.И. Лобачевского
12:30 | Исследование процесса плазменного травления альфа-кремния для МЭМС-применений
12:45 | Дискуссии, вопросы
13:00 | Обед