Доклад: Исследование процесса плазменного травления альфа-кремния для МЭМС-применений
Докладчик
Соавтор(ы)
Юркин Н. О., Платонов Д. Д.
Тип доклада
Устный
Дата и время
четверг, 25 сен (начало в 12:30)
Видео запись
Видео доклада ещё не загружено.
Статистика доклада
Статистика просмотров за 2025 год.
Обсуждение доклада
Новых тем пока нет
Создайте тему для обсуждения, если у вас есть вопросы или предложения по докладу.
Другие доклады секции: 10
11:00 |
Кофе-брейк
12:30 |
Исследование процесса плазменного травления альфа-кремния для МЭМС-применений
12:45 |
Дискуссии, вопросы
13:00 |
Обед