Статья: Применение индия для формирования низкоомных микроконтактов к контактным слоям арсенида галлия гетероэпитаксиальных QWIP-структур (2018)

Читать онлайн

Работа посвящена использованию индия для формирования низкоомных микроконтактов к контактным слоям арсенида галлия гетероэпитаксиальных QWIP-структур для изготовления матричного фотоприёмника излучения ИК-диапазона. В технологии изготовления фоточувствительных элементов металлические контакты к контактным слоям GaAs нижнего и верхнего уровней с необходимыми свойствами получают вакуумным напылением никеля и золота с последующим быстрым отжигом при температуре 450 оС в атмосфере водорода. Эта технология включает проведение ряда трудоемких последовательных операций: изготовление фотошаблонов, фотолитография, травление меза-элементов, напыление металлов на два уровня, осуществление которых на тестовых образцах небольших размеров (краевые сегменты пластин) крайне затруднено. В настоящей работе проведено исследование возможности альтернативных способов создания низкоомных контактов к контактным слоям QWIP GaAs/AlGaAs-структур.

Consideration is given to the possibility of using indium in low-resistance contacts building on heteroepitaxial QWIP-structures for IR focal plane arrays detectors. The prevalent technology for forming contacts uses vacuum evaporating of Ni-Au with subsequent annealing at 450 ºC in H2 ambience. It includes a row of difficult operations, namely, preparation of photo masks, photolithography, etching mesa elements, metal deposition on two levels, which are difficult to attain in such small test samples. This paper presents an investigation of alternative methods to form the low-resistance contacts to contact layers of the QWIP GaAs/AlGaAs structures.

Ключевые фразы: qwip-структура, микроконтакты, МАТРИЦА, фотоприемник, длинноволновый ик- диапазон, Гетероструктуры, молекулярно-лучевая эпитаксия
Автор (ы): Трухачев Антон Владимирович, Седнев Михаил Васильевич, Трухачева Наталия Сергеевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383. Фотоэлектроника
eLIBRARY ID
36425420
Для цитирования:
ТРУХАЧЕВ А. В., СЕДНЕВ М. В., ТРУХАЧЕВА Н. С. ПРИМЕНЕНИЕ ИНДИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НИЗКООМНЫХ МИКРОКОНТАКТОВ К КОНТАКТНЫМ СЛОЯМ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ QWIP-СТРУКТУР // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №5
Текстовый фрагмент статьи