Статья: Повышение чувствительности кремниевых p–i–n-фотодиодов к излучению с длиной волны 1,06 мкм (2018)

Читать онлайн

Исследованы возможности повышения уровня чувствительности p–i–n-фотодиодов к излучению с длиной волны λ = 1,06 мкм. Проведён расчёт двухслойного просветляющего покрытия, состоящего из плёнок SiO2 и Si3N4. Представлены результаты эксперимента, проведённого на основании данного расчёта.

Investigated are the possibilities of increasing the sensitivity of the p-i-n-photosensitive elements to radiation with a wavelength of λ = 1.06 μm. This paper presents a calculation of a two-layer antireflection coating consisting of the SiO2 and Si3N4 films allowing to increase the sensitivity level of the p–i–nphotosensitive element. The results of the experiment based on this calculation are also presented.

Ключевые фразы: p–i–n-фоточувствительный элемент, чувствительность, длина волны, просветляющее покрытие, sio2, si3n4, просветление
Автор (ы): Будтолаев Андрей Константинович, Либерова Галина Владимировна, Хижняк Владимир Игоревич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
36425418
Для цитирования:
БУДТОЛАЕВ А. К., ЛИБЕРОВА Г. В., ХИЖНЯК В. И. ПОВЫШЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ P–I–N-ФОТОДИОДОВ К ИЗЛУЧЕНИЮ С ДЛИНОЙ ВОЛНЫ 1,06 МКМ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №5
Текстовый фрагмент статьи