Статья: Особенности формирования плазмы импульсно-периодического резонансного СВЧ-разряда в инертных газах (Ar, He) при пониженном давлении (2018)

Читать онлайн

Проведено экспериментальное изучение динамики формирования плазмы инертных газов (Ar, He) импульсно-периодического резонансного СВЧ-разряда в диапазоне давлений 1×10-3–10 Торр и подводимой мощности от 100 до 600 Вт. Проведены измерения временных зависимостей падающей и отраженной мощности, а также интегральной интенсивности оптического излучения в фазе пробоя и формирования стационарного состояния. Определены зависимости характерных времен формирования плазмы от рабочих параметров разряда: давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и скважности импульсов нагрева.

Consideration is given to an experimental study of the dynamics of the plasma formation of inert gases (Ar, He) of a pulse-periodic resonant microwave discharge in the pressure range 1×10-3–10 Тоrr and the supplied HF-power up to 600 W. It was shown that the integral intensity of optical radiation increases with the increase of the HF-power absorbed in the discharge. The time dependences of incident and reflected power, as well as the integral intensity of optical radiation in the phase of breakdown and plasma build up time of a stationary state were measured. The dependences of the typical times of the plasma formation from the operating parameters of the discharge (pressure of plasma gas, input HFpower and the duty cycle of heating) have been obtained.

Ключевые фразы: резонансный свч-разряд, скважность, оптическое излучение, время пробоя, время плазмообразования
Автор (ы): Андреев Виктор Викторович, Василеска Ивона, Каряка Владимир Иванович, Корнеева Мария Анатольевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9. Физика плазмы
eLIBRARY ID
36425411
Для цитирования:
АНДРЕЕВ В. В., ВАСИЛЕСКА И., КАРЯКА В. И., КОРНЕЕВА М. А. ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛАЗМЫ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО РЕЗОНАНСНОГО СВЧ-РАЗРЯДА В ИНЕРТНЫХ ГАЗАХ (AR, HE) ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №5
Текстовый фрагмент статьи