Работы автора

В статье рассмотрено несколько практических методов определения динамических параметров объекта с S-образной кривой разгона. Показано, что для малоинерционных объектов в контуре регулирования с исполнительным механизмом постоянной скорости, использование классических графических и интерполяционных методик не позволяет точно описать динамику объекта управления. Для синтеза адекватной реальному процессу модели требуется учитывать скорость изменения управляющего воздействия. Были рассчитаны постоянная времени, время запаздывания и коэффициент передачи малоинерционного объекта управления. Точность определения полученных динамических параметров модели была проверена с помощью численного расчета выходного сигнала объекта методом Эйлера при подаче на вход импульсного воздействия. Эксперименты проводились на виртуальном лабораторном стенде САУ технологическим параметром. Полученная модель объекта управления может быть использована для синтеза и расчета оптимальных настроек регулятора.

В работе представлены результаты исследования сверхвысокочастотного (СВЧ) разряда, создаваемого непрерывным излучением гиротрона с частотой 30 ГГц в смеси аргона и водорода с добавкой метана в области пересечения двух волновых пучков. Разряд поддерживался над подложкой и имел форму тонкого плазменного слоя. Методами оптической спектроскопии излучения проведены измерения температуры газа и концентрации электронов в плазме. Обсуждены особенности определения штарковского уширения спектральных линий атомарного водорода при невысокой (порядка 1013 см-3) концентрации электронов. Представлены зависимости концентрации электронов и температуры газа от давления и состава газа, а также мощности падающего СВЧ излучения. Отмечены перспективы применения исследуемого разряда для плазмохимического осаждения алмазных плёнок из газовой фазы.