ISSN 2307-4469 · EISSN 2949-5636
Языки: ru · en

Статья: Контроль качества гетероэпитаксиальных структур КРТ, предназначенных для изготовления фотоприемных устройств длинноволнового ИК диапазона спектра (2025)

Читать онлайн

Исследованы морфология поверхности и спектры пропускания гетероэпитаксиаль-ных структур (ГЭС) на основе тройного раствора кадмий-ртуть-теллур (КРТ, CdHgTe), выращенных методами молекулярно-лучевой (МЛЭ) и жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ), и предназначенных для изготовления фотоприемных устройств (ФПУ) длинноволнового ИК диапазона спектра (8–12 мкм). Исследована неоднородность спектральных характеристик чувствительности отдельных фоточувствительных элементов (ФЧЭ) в линейках многорядной матрицы, сформированной в ГЭС КРТ, выращенной методом ЖФЭ. Матрицы ФЧЭ (МФЧЭ) должны иметь малый разброс граничной длины волны и однородные спектральные характеристики чувствительности, что достигается уменьшением неоднородности мольной доли х рабочего поглощающего слоя из CdHgTe до значений менее 0,1 % по площади пластин ГЭС КРТ.

The surface morphology and transmission spectra of heteroepitaxial structures (HES) based on a cadmium-mercury-tellurium (CdHgTe) alloys grown by molecular beam epi-taxy (MBE) and liquid phase epitaxy (LPE) which intended for long-wavelength infrared (IR) photodetectors (8–12 microns) have been investigated. The nonuniformity of the spec-tral sensitivity responses for individual array elements (IAE) of 6576 FPA formed in the CdHgTe HES grown by LPE has been studied. The FPAs should have a small variation of the cutoff wavelength and uniform spectral characteristics, that should be achieved by re-ducing the nonuniformity of the mole fraction x in CdHgTe absorbing layer to values less than 0.1 % over the photosensitive array.

Ключевые фразы: гетероэпитаксиальная структура (гэс), LWIR, КРТ, HgCdTe, спектры пропускания, морфология поверхности
Автор (ы): Яковлева Наталья
Соавтор (ы): Болтарь Константин, Давлетшин Ренат Валиевич, Никонов Антон Викторович
Журнал: Успехи прикладной физики

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.383.52. Фотодиоды
Префикс DOI
10.51368/2307-4469-2025-13-2-132-140
Для цитирования:
ЯКОВЛЕВА Н., БОЛТАРЬ К., ДАВЛЕТШИН Р. В., НИКОНОВ А. В. КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРТ, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫХ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОПРИЕМНЫХ УСТРОЙСТВ ДЛИННОВОЛНОВОГО ИК ДИАПАЗОНА СПЕКТРА // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2025. №2, ТОМ 13
Текстовый фрагмент статьи