Экспериментально и теоретически исследованы пути повышения динамического диапазона регистрируемой индикатрисы рассеянного лазерного излучения от оптической поверхности с ангстремным значением среднеквадратического отклонения (СКО) высотного параметра шероховатости. Результаты исследования позволили сформулировать необходимые требования при проектировании метода и аппаратуры данного класса в лабораторных условиях для измерения среднеквадратического отклонения параметра шероховатости оптической поверхности менее 0,1 нм, а именно: - конструктивное исполнение макетного образца должно быть реализовано с применением специализированного фоноподавляющего защитного кожуха; - необходимо применение математической модели аппроксимации регистрируемой индикатрисы в углах дифракции от 00 до 900, что соответствует анализу пространтвенных частот интегрируемой целевой функции – функции спектральной плотности корреляционной функции в диапазоне сверхвысоких пространственных частот от 0 до до максимального значения равного νmax = 1040 мм-1.
The ways of increasing the dynamic range of a mock-up sample of an optoelectronic device for recording the inidicatrix of scattered laser radiation from an optical surface with an ex-treme value of the standard deviation (RMS) of a high roughness parameter are investigated, experimentally and theoretically analyzed. The results of the study made it possible to formu-late the necessary requirements when designing a method and equipment of this class in la-boratory conditions for measuring the standard deviation of the optical surface roughness pa-rameter of less than 0.1 nm, namely: – the design of the mock-up sample should be imple-mented using a specialized phono-canceling protective casing.; – it is necessary to apply a mathematical model of approximation of the recorded indicatrix in diffraction angles from 0 to 90, which corresponds to the analysis of spatial frequencies of the integrated objective function – the spectral
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2025-13-2-103-114