Препринт: Обзор методов измерения механической прочности тонких плёнок

В данной обзорной статье рассматриваются методы измерения основных механических свойств тонких пленок: испытание на растяжение, индентирование, оценка запаса механической прочности по кривизне системы пластина-тонкая плёнка, контроль выдуванием за счёт подачи избыточного давления, исследование с использованием деформированного и резонансного кантилевера. В процессе критического анализа отечественных и зарубежных литературных источников выявлены преимущества и недостатки методов, объяснена мотивация авторов для проведения подобных исследований. В дополнении к существующим широко используемым методам приведена оригинальная и относительно новая методика — использование электрического тока в качестве контролируемого средства приложения термомеханических напряжений к электрическим проводникам для характеристики их усталостного поведения. Также указаны подходы для повышения механической прочности тонких плёнок.