Статья: Генерация однородной эмиссионной плазмы в разрядной системе с протяженным полым катодом форвакуумного плазменного источника ленточного пучка электронов (2018)

Читать онлайн

Для разрядной системы с протяженным полым катодом, используемой в форвакуумном плазменном источнике ленточного электронного пучка, исследовано влияния геометрии катодной полости и рода плазмообразующего газа на однородность распределение концентрации плазмы в области эмиссионной границы. Показано, что наибольшее влияние на однородность распределения концентрации эмиссионной плазмы оказывает геометрические параметры разрядного промежутка электронного источника. При оптимальной геометрии разрядной системы определен диапазон токов разряда, давления и рода газа, обеспечивающие неоднородность распределения концентрации плазмы не более 20 % от среднего значения.

For a discharge system with an extended hollow cathode used in the forevacuum plasma source of a ribbon electron beam, the influence of the geometry of the cathode cavity and the type of plasmaforming gas on the homogeneity of the plasma density distribution in the region of the emission boundary is studied. It is shown that the geometric parameters of the discharge gap of the electron source exert the greatest influence on the emission plasma density distribution. With the optimal geometry of the discharge system, a range of discharge current, pressure, and gas type is determined, which ensures that the distribution of the plasma concentration is not more than 20 % of the mean value.

Ключевые фразы: плазменный катод, протяженный полый катод, тлеющий разряд, однородность плазмы, форвакуумная область давлений
Автор (ы): Климов Александр Сергеевич, Зенин Алексей Александрович, Окс Ефим Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды
eLIBRARY ID
34860375
Для цитирования:
КЛИМОВ А. С., ЗЕНИН А. А., ОКС Е. ГЕНЕРАЦИЯ ОДНОРОДНОЙ ЭМИССИОННОЙ ПЛАЗМЫ В РАЗРЯДНОЙ СИСТЕМЕ С ПРОТЯЖЕННЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ ФОРВАКУУМНОГО ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА ЛЕНТОЧНОГО ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №2
Текстовый фрагмент статьи