Исследовано и экспериментально проанализировано влияние линзовой и зеркальной оптических схем канала подсвета макетного образца оптико-электронной системы для измерения параметров шероховатости ангстремного уровня оптических поверхностей на качество лазерного излучения. На основе разработанного макетного образца с применением линзовой и зеркальной оптических систем дана количественная оценка таким показателям качества лазерного излучения как M2-параметру и функции контраста спекл-структуры в сечении его энергетического профиля. В результате представленного сравнительного анализа влияния двух оптических систем канала подсвета макетного образца на достижимые показатели качества лазерного излучения, сделаны рекомендации о целесообразности применения линзовой оптической си-стемы в канале подсвета с точки зрения минимальной погрешности проводимых измерений.
The influence of lens and mirror optical schemes of the illumination channel of a mock-up sample of an optoelectronic system for measuring the roughness parameters of the angstrom level of optical surfaces on the quality of laser radiation has been investigated and experi-mentally analyzed. Based on the developed mock-up sample using lens and crystal optical sys-tems, a quantitative assessment of such indicators of the quality of laser radiation as the M2 parameter and the contrast function of the speckle structure in the cross section of its energy profile is given. As a result of the presented comparative analysis of the effect of two optical systems of the illumination channel of the mock-up sample on the achievable laser radiation quality indicators, recommendations are made on the expediency of using a lens optical sys-tem in the illumination channel from the point of view of minimal error in the measurements
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/1996-0948-2025-2-5-11
